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机器人(300024)07月16日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：据了解公司真空直驱机械手产品已经全面导入终端 FAB 厂，其中两轴、三轴真空直驱机械手均完成在下游工艺设备厂及终端 FAB 厂的验证阶段，批量进入终端 FAB 厂量产应用；四轴真空直驱机械手已实现自主研发，完成在设备端客户的应用验证，公司整体半导体装备业务在稳定推进。请问公司产品设备是否有进入第三代半导体产业领域？具体针对第三代半导体产业链发展中有哪些应用案例？机器人董秘：您好，现阶段，公司在半导体装备业务领域所应用的工艺环节主要为刻蚀、薄膜、离子注入等，未来公司将结合自身情况及下游需求等，积极拓展在其他半导体领域的应用。感谢关注。投资者：您好，当前半导体扩产，国产替代数十万亿市场，新松的半导体设备去年营收已有5.25亿，控股股东中科天盛及用新施诺引入的中芯聚源，是否考虑有资产注入，半导体装备营收利润是否预增，作为背靠中科院和中芯链条，国产替代的急先锋企业，贵公司是否有技术突破形成技术壁垒。机器人董秘：您好，公司在半导体装备业务领域布局研发较早，技术积累较为深厚，目前，如依托国家科技重大专项等，攻克无碰撞路径规划、系统稳定性分析评价、AWC精度优化等关键技术，构建了具有自主知识产权的技术闭环体系；如研发的双臂真空机械手、多关节真空机械手、大行程高精度 EFEM 等国产真空机械手系列产品及晶圆自动化传输设备，已实现规模化量产，稳步提升技术等核心竞争能力。感谢关注。投资者：公司的半导体设备供货哪些半导体企业？在生产线中的占比有多少？机器人董秘：您好，公司已在定期报告中披露了下游客户情况，供您参阅。公司在半导体装备业务领域的产品主要为标准化产品，包括 EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等，直接服务的下游客户为工艺设备厂商，具体在终端FAB厂的应用占比情况要视直接下游客户的设备产品导入应用情况而定。感谢关注。

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

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